Welcome to Suguru NODA's HP

2012.09.01に早稲田大学に異動しました。 新しいHPをご覧下さい。

English

Researcher ID: C-1365-2008
原著論文(英文) | 原著論文(和文) | 国際会議プロシーディング | 解説・総説 | 著書 | 特許

査読付き原著論文(英文)

70. H. Sugime and S. Noda*,
"Cold-gas chemical vapor deposition to identify the key precursor for rapidly growing vertically-aligned single-wall and few-wall carbon nanotubes from pyrolyzed ethanol,"
Carbon 50 (8), 2953-2960 (2012).
DOI:10.1016/j.carbon.2012.02.065

69. K. Sekiguchi, K. Furuichi, Y. Shiratori, and S. Noda*,
"One second growth of carbon nanotube arrays on a glass substrate by pulsed-current heating,"
Carbon 50 (6), 2110-2118 (2012).
DOI:10.1016/j.carbon.2011.12.062

68. S.W. Lee, B. M. Gallant, Y. Lee, N. Yoshida, D.Y. Kim, Y. Yamada, S. Noda, A. Yamada, and Y. Shao-Horn*,
"Self-standing positive electrodes of oxidized few-walled carbon nanotubes for light-weight and high-power lithium batteries,"
Energy Environ. Sci. 5 (1), 5437-5444 (2012).
DOI:10.1039/c1ee02409d

67. S. Isogai, R. Ohnishi, M. Katayama, J. Kubota, D.Y. Kim, S. Noda, D. Cha, K. Takanabe, and K. Domen*,
"Composite of TiN nanoparticles and few-walled carbon nanotubes and its application for electrocatalytic oxygen reduction reaction,"
Chem. Asian J. 7 (2), 286-289 (2012).
DOI:10.1002/asia.201100715

66. D.Y. Kim, H. Sugime, K. Hasegawa, T. Osawa, and S. Noda*,
"Fluidized-bed synthesis of sub-millimeter-long single walled carbon nanotube arrays,"
Carbon 50 (4), 1538-1545 (2012).
DOI:10.1016/j.carbon.2011.11.032

65. T. Moteki, Y. Murakami, S. Noda, S. Maruyama, and T. Okubo*,
"Zeolite surface as a catalyst support material for synthesis of single-walled carbon nanotubes,"
J. Phys. Chem. C 115 (49), 24231-24237 (2011).
DOI:10.1021/jp207930m

64. Y. Shiratori, K. Furuichi, Y. Tsuji, H. Sugime, and S. Noda*,
"Tailoring the morphology of carbon nanotube assemblies using microgradients in the catalyst thickness,"
Jpn. J. Appl. Phys. 50 (9), 095101-1-7 (2011).
DOI:10.1143/JJAP.50.095101

63. K. Hasegawa and S. Noda*,
"Moderating carbon supply and suppressing Ostwald ripening of catalyst particles to produce 4.5-mm-tall single-walled carbon nanotube forests,"
Carbon 49 (13), 4497-4504 (2011).
DOI:10.1016/j.carbon.2011.06.061

62. T. Yamamoto, S. Noda, and M. Kato*,
"A simple and fast method to disperse long single-walled carbon nanotubes introducing few defects,"
Carbon 49 (10), 3179-3183 (2011).
DOI:10.1016/j.carbon.2011.03.040

61. Y. Tsuji*, S. Nakamura, and S. Noda,
"Nanostructure and magnetic properties of c-axis oriented L10-FePt nanoparticles and nanocrystalline films on polycrystalline TiN underlayers,"
J. Vac. Sci. Technol. B 29 (3), 031801-1-10 (2011).
DOI:10.1116/1.3575155

60. D.Y. Kim, H. Sugime, K. Hasegawa, T. Osawa, and S. Noda*,
"Sub-millimeter-long carbon nanotubes repeatedly grown on and separated from ceramic beads in a single fluidized bed reactor,"
Carbon 49(6), 1972-1979 (2011).
DOI:10.1016/j.carbon.2011.01.022

59. K. Hasegawa and S. Noda*,
"Millimeter-tall single-walled carbon nanotubes rapidly grown with and without water,"
ACS Nano 5(2), 975-984 (2011).
DOI:10.1021/nn102380j

58. K. Hasegawa and S. Noda*,
"Real-time monitoring of millimeter-tall vertically aligned single-walled carbon nanotube growth on combinatorial catalyst library,"
Jpn. J. Appl. Phys. 49 (8), 085104-1-6 (2010).
DOI:10.1143/JJAP.49.085104

57. Y. Shiratori* and S. Noda,
"Combinatorial evaluation for field emission properties of carbon nanotubes part II - high growth rate system,"
J. Phys. Chem. C 114 (30), 12938-12947 (2010).
DOI:10.1021/jp103378c

56. Yukie Tsuji, Yoshiko Tsuji*, S. Nakamura, and S. Noda,
"Two routes to polycrystalline CoSi2 thin films by co-sputtering Co and Si,"
Appl. Surf. Sci. 256 (23), 7118-7124 (2010).
DOI:10.1016/j.apsusc.2010.05.037

55. K. Hasegawa and S. Noda*,
"Diameter increase in millimeter-tall vertically aligned single-walled carbon nanotubes during growth,"
Appl. Phys. Express 3 (4), 045103-1-3 (2010).
DOI:10.1143/APEX.3.045103

54. H. Sugime and S. Noda*,
"Millimeter-tall single-walled carbon nanotube forests grown from ethanol,"
Carbon 48 (8), 2203-2211 (2010).
DOI:10.1016/j.carbon.2010.02.024

53. S. Noda*, H. Sugime, K. Hasegawa, K. Kakehi, and Y. Shiratori,
"A simple combinatorial method aiding research on single-walled carbon nanotube growth on substrates,"
Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2), 02BA02-1-7 (2010).
DOI:10.1143/JJAP.49.02BA02
JSAP Spotlights, Editors' Choice.

52. Y. Shiratori*, K. Furuichi, Y. Tsuji, H. Sugime, and S. Noda*,
"Efficient field emission from triode-type 1D arrays of carbon nanotubes,"
Nanotechnology 20 (47), 475707-1-7 (2009).
DOI:10.1088/0957-4484/20/47/475707

51. T.W.H. Oates*, Y. Shiratori, and S. Noda,
"Two-dimensional combinatorial investigation of Raman and fluorescence enhancement in silver and gold sandwich substrates,"
J. Phys. Chem. C 113 (22), 9588-9594 (2009).
DOI:10.1021/jp900436a

50. T.W.H. Oates*, H. Sugime, and S. Noda,
"Combinatorial surface-enhanced Raman spectroscopy and spectroscopic ellipsometry of silver island films,"
J. Phys. Chem. C 113 (12), 4820-4828 (2009).
DOI:10.1021/jp8097654

49. T.W.H. Oates* and S. Noda,
"Thickness-gradient dependent Raman enhancement in silver island films,"
Appl. Phys. Lett. 94 (5), 053106-1-3 (2009).
DOI:10.1063/1.3078272

48. H. Sugime, S. Noda*, S. Maruyama, and Y. Yamaguchi,
"Multiple "optimum" conditions for Co-Mo catalyzed growth of vertically aligned single-walled carbon nanotube forests,"
Carbon 47 (1), 234-241 (2009).
DOI:10.1016/j.carbon.2008.10.001

47. Y. Yamaguchi*, S. Noda, and H. Komiyama,
"Chemical engineering for technology innovation,"
Chem. Eng. Commun. 196 (1), 267-276 (2009).
DOI:10.1080/00986440802290029

46. Y. Shiratori, H. Sugime, and S. Noda*,
"Combinatorial evaluation for field emission properties of carbon nanotubes,"
J. Phys. Chem. C 112 (46), 17974-17982 (2008).
DOI:10.1021/jp807078h

45. K. Hasegawa, S. Noda*, H. Sugime, K. Kakehi, S. Maruyama, and Y. Yamaguchi,
"Growth window and possible mechanism of millimeter-thick single-walled carbon nanotube forests,"
J. Nanosci. Nanotechnol. 8 (11), 6123-6128 (2008).
DOI:10.1166/jnn.2008.SW17

44. K. Kakehi, S. Noda*, S. Maruyama, and Y. Yamaguchi,
"Individuals, grasses, and forests of single- and multi-walled carbon nanotubes grown by supported Co catalysts of different nominal thicknesses,"
Appl. Surf. Sci. 254 (21), 6710-6714 (2008).
DOI:10.1016/j.apsusc.2008.04.050

43. T.W.H. Oates*, A. Keller, S. Noda, and S. Facsko,
"Self-organized metallic nanoparticle and nanowire arrays from ion-sputtered silicon templates,"
Appl. Phys. Lett. 93 (6), 063106-1-3 (2008).
DOI:10.1063/1.2959080

42. Shiratori, K. Furuichi, S. Noda*, H. Sugime, Y. Tsuji, Z. Zhang, S. Maruyama, and Y. Yamaguchi,
"Field emission properties of single-walled carbon nanotubes with a variety of emitter-morphologies,"
Jpn. J. Appl. Phys. 47 (6), 4780-4787 (2008).
DOI:10.1143/JJAP.47.4780

41. K. Kakehi, S. Noda*, S. Maruyama, and Y. Yamaguchi,
"Growth valley dividing single- and multi-walled carbon nanotubes: combinatorial study of nominal thickness of Co catalyst,"
Jpn. J. Appl. Phys. 47 (4), 1961-1965 (2008).
DOI:10.1143/JJAP.47.1961

40. Y. Tsuji, M. Mizukami, and S. Noda*,
"Growth mechanism of epitaxial CoSi2 on Si and reactive deposition epitaxy of double heteroepitaxial Si/CoSi2/Si,"
Thin Solid Films 516 (12), 3989-3995 (2008).
DOI:10.1016/j.tsf.2007.08.002

39. Y. Tsuji*, S. Noda, and Y. Yamaguchi,
"Structure and magnetic property of c-axis oriented L10-FePt nanoparticles on TiN/a-Si underlayers,"
J. Vac. Sci. Technol. B 25 (6), 1892-1895 (2007).
DOI:10.1116/1.2803726

38. Y. Tsuji*, S. Nakamura, and S. Noda,
"Spontaneous formation of Si nanocones vertically aligned to Si wafers,"
J. Vac. Sci. Technol. B 25 (3), 808-812 (2007).
DOI:10.1116/1.2734976

37. S. Noda*, K. Hasegawa, H. Sugime, K. Kakehi, Z. Zhang, S. Maruyama, and Y. Yamaguchi,
"Millimeter-thick single-walled carbon nanotube forests: hidden role of catalyst support,"
Jpn. J. Appl. Phys. 46 (17), L399-L401 (2007). (Express Letter)
http://jjap.ipap.jp/link?JJAP/46/L399/
DOI:10.1143/JJAP.46.L399
Most Cited Articles 2010, Free Download.

36. Y. Kajikawa*, K. Abe, and S. Noda,
"Filling the gap between researchers studying different materials and different methods: a proposal of structured keywords,"
J. Inf. Sci. 32 (6), 511-524 (2006).
DOI:10.1177/0165551506067125

35. K. Kakehi, S. Noda*, S. Chiashi, and S. Maruyama,
"Supported Ni catalysts from nominal monolayer grow single-walled carbon nanotubes,"
Chem. Phys. Lett. 428 (4-6), 381-385 (2006).
DOI:10.1016/j.cplett.2006.07.039

34. S. Noda*, H. Sugime, T. Osawa, Y. Tsuji, S. Chiashi, Y. Murakami, and S. Maruyama,
"A simple combinatorial method to discover Co-Mo binary catalysts that grow vertically aligned single-walled carbon nanotubes,"
Carbon 44 (8), 1414-1419 (2006).
DOI:10.1016/j.carbon.2005.11.026

33. S. Inasawa*, M. Sugiyama, S. Noda, and Y. Yamaguchi,
"Spectroscopic study of laser-induced phase transition of gold nanoparticles on nanosecond time scales and longer,"
J. Phys. Chem. B 110 (7),3114-3119 (2006).
DOI:10.1021/jp057175l

32. S. Noda*, Y. Tsuji, A. Sugiyama, A. Kikitsu, F. Okada, and H. Komiyama,
"c-Axis oriented face-centered-tetragonal-FePt nanoparticle monolayer formed on a polycrystalline TiN seed layer,"
Jpn. J. Appl. Phys. 44 (11), 7957-7961 (2005).
DOI:10.1143/JJAP.44.7957

31. S. Noda*, Y. Tsuji, Y. Murakami, and S. Maruyama,
"Combinatorial method to prepare metal nanoparticles that catalyze the growth of single-walled carbon nanotubes,"
Appl. Phys. Lett. 86 (17), 173106-1-3 (2005).
DOI:10.1063/1.1920417
Selected for the May 2, 2005 issue of Virtual Journal of Nanoscale Science & Technology.

30. Y. Kajikawa* and S. Noda,
"Growth mode during initial stage of chemical vapor deposition,"
Appl. Surf. Sci. 245 (1-4), 281-289 (2005).
DOI:10.1016/j.apsusc.2004.10.021

29. H. Komiyama*, Y. Yamaguchi, and S. Noda,
"Structuring knowledge on nanomaterials processing,"
Chem. Eng. Sci. 59 (22-23), 5085-5090 (2004).
DOI:10.1016/j.ces.2004.09.025

28. S. Noda*, T. Tsumura, J. Fukuhara, T. Yoda, H. Komiyama, and Y. Shimogaki,
"Stranski-Krastanov growth of tungsten during chemical vapor deposition revealed by micro-Auger electron spectroscopy,"
Jpn. J. Appl. Phys. 43 (10), 6974-6977 (2004).
DOI:10.1143/JJAP.43.6974

27. S. Noda*, R. Hirai, H. Komiyama, and Y. Shimogaki,
"Selective silicidation of Co using silane or disilane for anti-oxidation barrier layer in Cu metallization,"
Jpn. J. Appl. Phys. 43 (9A), 6001-6007 (2004).
DOI:10.1143/JJAP.43.6001

26. Y. Kajikawa*, S. Noda, and H. Komiyama,
"A simple index to restrain abnormal protrusions in films fabricated using CVD under diffusion-limited conditions,"
Chem. Vap. Deposition 10 (4), 221- 228 (2004).
DOI:10.1002/cvde.200306285

25. Y. Kajikawa*, S. Noda, and H. Komiyama,
"Use of process indices for simplification of the description of vapor deposition systems,"
Mater. Sci. Eng. B 111 (2-3), 156-163 (2004).
DOI:10.1016/j.mseb.2004.04.013

24. Y. Kajikawa*, T. Tsumura, S. Noda, H. Komiyama, and Y. Shimogaki,
"Nucleation of W during chemical vapor deposition from WF6 and SiH4,"
Jpn. J. Appl. Phys. 43 (6B), 3945-3950 (2004).
DOI:10.1143/JJAP.43.3945

23. Y. Kajikawa*, T. Tsuchiya, S. Noda, and H. Komiyama,
"Incubation time during the CVD of Si onto SiO2 from silane,"
Chem. Vap. Deposition 10 (3), 128-133 (2004).
DOI:10.1002/cvde.200304165

22. M. Hu, S. Noda*, T. Okubo, and H. Komiyama,
"Wettability and crystalline orientation of Cu nanoislands on SiO2 with a Cr underlayer,"
Appl. Phys. A 79 (3), 625-628 (2004).
DOI:10.1007/s00339-004-2604-3

21. S. Noda*, K. Tanabe, T. Yahiro, T. Osawa, and H. Komiyama,
"Reaction of Si with HCl to form chlorosilanes: Time dependent nature and reaction model,"
J. Electrochem. Soc. 151 (6), C399-C404 (2004).
DOI:10.1149/1.1737386

20. S. Noda*, Y. Kajikawa, and H. Komiyama,
"Combinatorial masked deposition: Simple method to control deposition flux and its spatial distribution,"
Appl. Surf. Sci. 225 (1-4), 372-379 (2004).
DOI:10.1016/j.apsusc.2003.10.027

19. S. Noda*, K. Tepsanongsuk, Y. Tsuji, Y. Kajikawa, Y. Ogawa, and H. Komiyama,
"Preferred orientation and film structure of TaN films deposited by reactive magnetron sputtering,"
J. Vac. Sci. Technol. A 22 (2), 332-338 (2004).
DOI:10.1116/1.1647593

18. T. Q. Li*, S. Noda*, F. Okada, and H. Komiyama,
"Effects of substrate heating and biasing on manostrcutural evolution of nonepitaxially growth TiN nanofilms,"
J. Vac. Sci. Technol. B 21 (6), 2512-2516 (2003).
DOI:10.1116/1.1621654

17. Y. Kajikawa*, S. Noda, and H. Komiyama,
"Comprehensive perspective on the mechanism of preferred orientation in reactive-sputter-deposited nitrides,"
J. Vac. Sci. Technol. A 21 (6), 1943-1954 (2003).
DOI:10.1116/1.1619414

16. T. Q. Li*, S. Noda*, H. Komiyama; T. Yamamoto, and Y. Ikuhara,
"Initial growth stage of nanoscaled TiN films: Formation of continuous amorphous layers and thickness-dependent crystal nucleation,"
J. Vac. Sci. Technol. A 21 (5), 1717-1723 (2003).
DOI:10.1116/1.1598975

15. M. Hu*, S. Noda*, T. Okubo, Y. Yamaguchi, and H. Komiyama,
"Structural and morphological control of nanosized Cu islands on SiO2 using a Ti underlayer,"
J. Appl. Phys. 94 (5), 3492- 3497 (2003).
DOI:10.1063/1.1597972

14. M. Hu*, S. Noda*, and H. Komiyama,
"Amorphous-to-crystalline transition during the early stages of thin film growth of Cr on SiO2,"
J. Appl. Phys. 93 (11), 9336- 9344 (2003).
DOI:10.1063/1.1571214

13. Y. Kajikawa*, S. Noda, and H. Komiyama,
"Mechanisms controlling preferred orientation of chemical vapor deposited polycrystalline films,"
Solid St. Phenomena 93, 411- 416 (2003).

12. M. Hu*, S. Noda, and H. Komiyama,
"A new insight into the growth mode of metals on TiO2(110),"
Surf. Sci. 513 (3), 530-538 (2002).
DOI:10.1016/S0039-6028(02)01856-3

11. Y. Kajikawa*, S. Noda, and H. Komiyama,
"Preferred orientation of chemical vapor deposited polycrystalline silicon carbide films,"
Chem. Vap. Deposition 8 (3), 99-104 (2002).
DOI:10.1002/1521-3862(20020503)8:3<99::AID-CVDE99>3.0.CO;2-C

10. S. Noda*, Y. Kajikawa, and H. Komiyama,
"Cone structure formation by preferred growth of random nuclei in chemical vapor deposited epitaxial silicon films,"
Chem. Vap. Deposition 8 (3), 87-89 (2002).
DOI:10.1002/1521-3862(20020503)8:3<87::AID-CVDE87>3.0.CO;2-Q

9. M. Hu*, S. Noda, Y. Tsuji, T. Okubo, Y. Yamaguchi, and H. Komiyama,
"Effect of interfacial interactions on the initial growth of Cu on clean SiO2 and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane-modified SiO2 substrates,"
J. Vac. Sci. Technol. A 20 (3), 589-596 (2002).
DOI:10.1116/1.1458941

8. T. Q. Li*, S. Noda, Y. Tsuji, T. Osawa, and H. Komiyama,
"Initial growth and texture formation during reactive magnetron sputtering of TiN on Si(111),"
J. Vac. Sci. Technol. A 20 (3), 583-588 (2002).
DOI:10.1116/1.1458944

7. Y. Kajikawa*, H. Ono, S. Noda, and H. Komiyama,
"Growth of trumpet-like protrusions during the CVD of silicon carbide films,"
Chem. Vap. Deposition 8 (2), 52-55 (2002).
DOI:10.1002/1521-3862(20020304)8:2<52::AID-CVDE52>3.0.CO;2-R

6. X.-D. Liu*, H. Funakubo, S. Noda, and H. Komiyama,
"Internal microstructure and formation mechanism of surface protrusions in Pb-Ti-Nb-O thin film prepared by MOCVD,"
Chem. Vap. Deposition 7 (6), 253-259 (2001).
DOI:10.1002/1521-3862(200111)7:6<253::AID-CVDE253>3.0.CO;2-1

5. M. Hu*, S. Noda, T. Okubo, Y. Yamaguchi, and H. Komiyama,
"Structure and morphology of self-assembled 3-mercaptopropyltrimethoxysilane layers on silicon oxide,"
Appl. Surf. Sci. 181 (3-4), 307-316 (2001).
DOI:10.1016/S0169-4332(01)00399-3

4. M. Yamamoto*, S. Ona, S. Noda, and M. Sadakata,
"NO reduction under the excess O2 condition by porous VYCOR catalyst,"
J. Chem. Eng. Jpn. 34 (6), 834-839, (2001).
J-Stage

3. X.-D. Liu*, H. Funakubo, S. Noda, and H. Komiyama,
"Influence of deposition temperature on the microstructure of Pb-Ti-Nb-O thin films by metallorganic chemical vapor deposition,"
J. Electrochem. Soc. 148 (3), C227-C230 (2001).
DOI:10.1149/1.1349880

2. S. Noda*, M. Nishioka, and M. Sadakata,
"Gas-phase hydroxyl radical emission in the thermal decomposition of lithium hydroxide,"
J. Phys. Chem. B 103 (11), 1954-1959 (1999).
DOI:10.1021/jp984238

1. S. Noda*, M. Nishioka, A. Harano, and M. Sadakata,
"Gas-phase hydroxyl radical generation by the surface reactions over basic metal oxides,"
J. Phys. Chem. B 102 (17), 3185-3191 (1998).
DOI:10.1021/jp9731314

査読付き原著論文(和文)

4. 笹倉英史,野田優,山口由岐夫
「TEM-CT と3次元トポロジー解析を用いたポリマーナノコンポジット中のナノ粒子分散性に関する新しい評価法」
日本セラミック協会学術論文誌114 (1331), 638-642 (2006).
J-STAGE:jcersj/114/1331/114_638/

3. 稲葉敦,近藤康彦,小林光雄,喜多浩之,高橋伸英,野田優,松本真太郎,森田英基,小宮山宏
「太陽光発電システムの導入によるCO2排出削減効果」
エネルギー・資源16 (5),532-537 (1995).

2. 稲葉敦,近藤康彦,小林光雄,喜多浩之,高橋伸英,野田優,松本真太郎,森田英基,小宮山宏
「太陽光発電システムのライフサイクルアセスメント」
エネルギー・資源16 (5),525-531 (1995).

1. 稲葉敦,近藤康彦,小林光雄,喜多浩之,高橋伸英,野田優,松本真太郎,森田英基,小宮山宏
「太陽光発電システムのライフサイクルインベントリー」
資源と環境,4 (4),321-334 (1995).

国際会議プロシーディング

13. K. Furuichi, Y. Shiratori, K. Sekiguchi, H. Sugime, and S. Noda,
"A 1-sec Implementation of CNT-Emitter Arrays on Glasses for BLUs,"
Digest of Technical Papers - Society for Information Display International Symposium, 40(Bk. 1), 139-141 (2009).

12. M. Hu, S. Noda, H. Komiyama,
"Nanostructural evolution in non-epitaxial growth of thin films,"
Materials Research Society Symposium Proceedings, 2006-961E, O05-04 (2007).

11. S. Noda,
"Structuring knowledge on materials technology: general understanding of phenomena occurring in materials and its practical applications,"
The Third International Conference on Nanotechnology (JAPAN NANO 2005), P3-15, Tokyo, Japan, Feb. 2005.

10. S. Noda and H. Komiyama,
"Nanostructural evolution by non-epitaxial growth,"
Proc. 10th Asian Pacific Confederation of Chemical Engineering, 4C-07, Kitakyushu, Japan, Oct. 2004.

9. Y. Tsuji, S. Noda, and H. Komiyama,
"Epitaxial lift-off technology for solar cell application,"
Proc. 10th Asian Pacific Confederation of Chemical Engineering, 3D-11, Kitakyushu, Japan, Oct. 2004.

8. K. Kakehi, S. Noda, and F. Okada,
"Phase transition from semiconductor to insulator observed in rare gas- and halogen-doped SiOx thin films,"
Proc. 10th Asian Pacific Confederation of Chemical Engineering, 3D-10, Kitakyushu, Japan, Oct. 2004.

7. Y. Shimogaki, M. Sugiyama, S. Noda, and H. Komiyama,
"Initial nucleation and growth in fabrication of metal thin films by chemical vapor deposition,"
Proc. 10th Asian Pacific Confederation of Chemical Engineering, 3P-08-051, Kitakyushu, Japan, Oct. 2004.

6. Y. Shimogaki, T. Iino, M. Sugiyama, T. Momose, Y. S. Kim, T. Tsumura, Y. Kajikawa, S. Noda, and H. Komiyama,
"The initial nucleation behavior during Al, Cu, W-CVD on barrier metal layers,"
Proceedings of Material Research Society 2004 Spring Meeting, F8.10, San Francisco, April 12-16, 2004.

5. R. Hirai, S. Noda, H. Komiyama, and Y. Shimogaki,
"Selective silicidation of cobalt using SiH4 and Si2H6 for Cu metallization,"
Proceedings of the Advanced Metallization Conference 2002 (AMC 2002), San Diego, October 1-3, 2002, Materials Research Society, Conf. Proc. ULSI XVIII, 427-431 (2003).

4. S. Noda, K. Hagiwara, O. Ichikawa, K. Tanabe, T. Yahiro, H. Ohkawa, T. Osawa, and H. Komiyama,
"Closed recycle CVD process for mass production of SOG-Si from MG-Si,"
Conf. Rec. IEEE Photovoltaic Specialists Conf. 2002, 29th, 308-311.

3. Y. Tsuji, S. Noda, M. Mizukami, and H. Komiyama,
"Epitaxial technology of Si/CoSi2/Si layers for solar cell application,"
Conf. Rec. IEEE Photovoltaic Specialists Conf. 2002, 29th, 289-292.

2. M. Hu, S. Noda, Y. Ogawa, Y. Tsuji, T. Okubo, Y. Yamaguchi, and H. Komiyama,
"Study of initial growth of Cu on SiO2 and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane-coated SiO2,"
Proc. Electrochem. Soc. 2001-13 (Fundamental Gas-Phase and Surface Chemistry of Vapor-Phase Deposition II), 41-46 (2001).

1. K. Tepsanongsuk, S. Noda, Y. Tsuji, and H. Komiyama,
"The structure control of sputtered TaN films on SiO2 through the study of evolutionary selection growth,"
Proc. Adv. Metall. Conf. 2000, 409-412 (2000).

解説・総説

3. 野田優
「カーボンナノチューブのカスタム合成と応用」
化学工学,74 (11),629-631 (2010).

2. 野田優
「コンビナトリアル手法を援用したCNT合成法の開発」
NEW DIAMOND,89-24 (2),32-33 (2008).

1. 野田優
「単層カーボンナノチューブ合成への化学工学的アプローチ」
ケミカル・エンジニヤリング,51 (8),32-37 (2006).

著書

7. 田中一義,東原秀和,篠原久典編「炭素学」化学同人 (2011),
 野田優「16-3 透明柔軟性電極」pp. 505-511.

6. フラーレン・ナノチューブ学会編「カーボンナノチューブ・グラフェンハンドブック」コロナ社 (2011),
 野田優「11-4-3 透明電極」pp. 248-250.

5. フラーレン・ナノチューブ学会編「カーボンナノチューブ・グラフェンハンドブック」コロナ社 (2011),
 野田優「1-1-1 熱CVD - 単層CNTの垂直配向成長」pp. 10-14.

4. 内藤牧男 編著「究極のかたちをつくる」日刊工業新聞社 (2009),
 野田優「カーボンナノチューブのカスタム合成」pp. 56-67.

3. 松本洋一郎, 小宮山宏 監修,藤原毅夫,丸山茂夫,伊東乾編「知識・構造化ミッション 大学は表現する」日経BP社 (2005),
 野田優「知を活かす 薄膜成長を例として」pp. 113-127.

2. 細川益男 監修,野城清 編著「ナノパーティクル・テクノロジー」日刊工業新聞社 (2003),
 野田優「ナノ粒子の物性,機能」pp. 223- 228.

1. 動け!日本タスクフォース編「動け!日本」日経BP社 (2003),
 野田優,小宮山宏「太陽電池の大規模一貫製造プロセス」pp. 280- 284.

その他記事

1. 野田優,白鳥洋介,関口康太郎,古市考次,杉山正和
「カーボンナノチューブフィールドエミッタの瞬間実装」
NanotechJapan Bulletin「フォーカス26」企画特集,第27回,157-160 (2012).
Web pdf

特許

25. 発明者:野田優,大沢利男,金東榮,羽場英介,上田俊輔
 出願人:国立大学法人東京大学,日立化成工業株式会社
 「ナノカーボン材料製造装置」
 特願2010-35239,出願日2010年2月19日.
 PCT/JP2011/053420,国際出願日2011年2月17日.WO 2011/102433 A1,国際公開日2011年8月25日.

24. 発明者:野田優,諸隈慎吾,山本武継
 出願人:国立大学法人東京大学,住友化学株式会社
 「シリコン膜およびリチウム二次電池」
 特願2009-280187,出願日2009年12月10日.
 PCT/JP2010/072255,国際出願日2010年10月10日.WO 2011/071154 A1,国際公開日2011年6月16日.

23. 発明者:野田優,金東榮,大沢利男,杉目恒志,長谷川馨,羽場英介
 出願人:国立大学法人東京大学,日立化成工業株式会社
 「カーボンナノチューブ及び水素の同時製造方法、並びに、カーボンナノチューブ及び水素の同時製造装置」
 特願2009-209844,出願日2009年9月10日.
 PCT/JP2010/065514,国際出願日2009年9月9日.WO 2011/030821 A1,国際公開日2011年3月17日.

22. 発明者:野田優,古市考次
 出願人:国立大学法人東京大学,大日本スクリーン製造株式会社
 「化学気相成長装置、化学気相成長方法」
 特願2009-178815,出願日2009年7月31日.特開2011-32120,公開日2011年2月17日.

21. 発明者:野田優,古市考次,白鳥洋介
 出願人:国立大学法人東京大学,大日本スクリーン製造株式会社
 「面発光装置」
 特願2008-278873,出願日2008年10月29日.特開2010-108723,公開日2010年5月13日.

20. 発明者:野田優,古市考次
 出願人:国立大学法人東京大学,大日本スクリーン製造株式会社
 「カーボンナノチューブ形成方法」
 特願2008-278869,出願日2008年10月29日.
 PCT/JP2009/068516,国際出願日2009年10月28日.WO 2010/050517 A1,国際公開日2010年5月6日.

19. 発明者:野田優,古市考次,白鳥洋介,辻佳子,杉目恒志
 出願人:国立大学法人東京大学,大日本スクリーン製造株式会社
 「フィールドエミッション装置、ならびに、その製造方法」
 特願2008-089078,出願日2008年3月31日.特開2009-245672,公開日2009年10月22日.
 韓国特許出願 第10-2009-0026915号,出願日:2009年3月30日. 登録番号 第10-1060382号,登録日:2011年8月23日.
 中国特許出願 200910132528.3号,出願日2009年3月31日. 登録番号 ZL200910132528.3,登録日2012年5月30日.

18. 発明者:野田優,杉目恒志,山口由岐夫,大沢利男,筧和憲,長谷川馨,金東榮
 出願人:日立化成工業株式会社
 「カーボンナノチューブの製造方法」
 特願2008-058825,出願日2008年3月7日.
 PCT/JP2009/054284,国際出願日2009年3月6日.WO 2009/110591 A1,国際公開日2009年9月11日.

17. 発明者:野田優,高嶋智史
 出願人:野田優,キヤノンアネルバ株式会社
 「配線形成方法及び配線形成装置」
 特願2008-034985,出願日2008年2月15日.
 「金属埋め込み方法及び凹部に金属を堆積させるための装置」
 PCT/JP2009/052543,国際出願日2009年2月16日.WO 2009/102056 A1,国際公開日2009年8月20日.

16. 発明者:野田優,杉目恒志,山口由岐夫
 出願人:日立化成工業株式会社
 「カーボンナノチューブの製造方法」
 特願2006-244643,出願日2006年9月8日.
 PCT/JP2007/067539,国際出願日2007年9月7日.WO 2008/029927 A1,国際公開日2008年3月13日.

15. 発明者:全基栄,坂本仁志,野田優
 出願人:三菱重工業株式会社,野田優
 「薄膜作製装置」
 特願2006-008230,出願日2006年1月17日.特開2007-191729,公開日2007年8月2日.
 特許第4405973号,登録日2009年11月13日.

14. 発明者:野田優
 出願人:東京大学
 「磁気記録媒体及びその製造方法」
 特願2005-207868,出願日2005年7月15日.特開2007-26558,公開日2007年2月1日.

13. 発明者:野田優
 出願人:大日本スクリーン製造株式会社,野田優
 「カーボンナノチューブデバイス及びカーボンナノチューブデバイスの製造方法」
 特願2004-219371,出願日2004年7月27日.
 PCT/JP2005/13629,国際出願日2005年7月26日.WO 2006/011468 A1,国際公開日2006年2月2日.
 韓国特許出願第10-207-7001647号,2008年5月19日特許査定.
 中国特許第2010071200102440号,2010年7月15日特許査定.
 日本国特許第4558735号,2010年7月30日特許査定.

12. 発明者:野田優,丸山茂夫
 出願人:化学工学会
 「カーボンナノチューブデバイス及びカーボンナノチューブデバイスの製造方法」
 特願2004-219370,出願日2004年7月27日.特開2006-35379,公開日2006年2月9日.

11. 発明者:坂本仁志,野田優
 出願人:三菱重工業株式会社,野田優
 「薄膜作製方法及び薄膜作製装置」
 特願2004-050950,出願日2004年2月26日.特開2005-240091,公開日2005年9月8日.
 米国11/635600,欧州06125734.1,韓国2006-0123941,台湾095145037.

10. 発明者:末富栄一,深沢孝二,霜垣幸浩,杉山正和,野田優
 出願人:コニカミノルタホールディングス株式会社
 「ハイブリッド反応モデルを用いたシミュレーションシステムまたはシミュレーション方法」
 特願2004-023615,出願日2004年1月30日.特開2005-217276,公開日2005年8月11日.
 特許第4449472号,登録日2010年2月5日.

9. 発明者:野田優
 出願人:科学技術振興機構/野田優
 「単結晶薄膜の製造方法及び単結晶薄膜デバイス」
 特願2004-7754,出願日2004年1月15日.
 PCT/JP2004/019195,国際出願日2004年12月22日.WO 2005/069356 A1,国際公開日2005年7月28日.
 台湾国特許:I281705,特許権者:野田優,登録日:2007年5月21日,期限:2024年12月27日.
 韓国特許:799144,特許権者:野田優,登録日:2008年1月23日,期限:2024年12月22日.
 中国特許:ZL200480041710.3,特許権者:野田優,登録日:2008年11月12日,期限:2024年12月22日.
 EP特許公開EP-A-2256786,公開日2010年12月1日.

8. 発明者:坂本仁志,野田優
 出願人:三菱重工業株式会社,野田優
 「薄膜作製方法及び薄膜作製装置」
 特願2003-374182,出願日2003年11月4日.特開2005-139476,2005年06月02日.
 特許第3937411号,2007年4月6日登録.

7. 発明者:野田優
 出願人:科学技術振興機構
 「ナノ粒子デバイス及びナノ粒子デバイスの製造方法」
 特願2003-306045,出願日2003年8月29日.
 特願2004-105046,出願日2004年3月31日.
 PCT/JP2004/012261,国際出願日2004年8月26日.WO 2005/022565 A1,国際公開日2005年3月10日.

6. 発明者:辻佳子,野田優
 出願人:科学技術振興機構
 「錐体型微小構造体及びその製造方法」
 特願2003-291802,出願日2003年8月11日.特開2005-63798,公開日2005年3月10日.

5. 発明者:小宮山宏,山口由岐夫,野田優
 出願人:東京大学
 「材料設計支援方法ならびにそのシステム」
 特願2001-378137,出願日2001年12月12日.特開2003-178102,公開日2003年06月27日.
 特許第4047581号,2007年11月30日登録.

4. 発明者:小宮山宏,野田優,岩間政明
 出願人:小宮山宏,野田優,岩谷産業株式会社
 「アモルファス膜からの大粒径の結晶薄膜の製造方法」
 特願2001-331772,出願日2001年10月30日.特開2003-133231,公開日2003年05月09日.

3. 発明者:小宮山宏,野田優,出願人:小宮山宏,野田優
 「目的膜の製造方法」
 特願2000-353112,出願日2000年11月20日.
 発明者:小宮山宏,野田優,出願人:小宮山宏,野田優
 「結晶性の良い目的膜の製造方法」
 特願2001-230240,出願日2001年7月30日.
 発明者:小宮山宏,野田優,辻佳子,出願人:小宮山宏,野田優
 「結晶性の良い目的膜の製造方法」
 PCT/JP2001/010111,国際公開日:2001年11月20日.WO 2002/040751 A1,国際公開日:2002年5月23日.
 発明者:小宮山宏,野田優,辻佳子,出願人:小宮山宏,野田優
 「目的膜の製造方法及びそれによって得られた目的膜並びに複層構造物」
 特願2002-543058,出願日:2001年11月20日,再公表日:2004年3月25日.

2. 発明者:小宮山 宏,奥山 喜久夫,松方 正彦,江頭 靖幸,野田 優
 出願人:小宮山 宏,奥山 喜久夫,松方 正彦,江頭 靖幸,野田 優
 「構造解析システム,構造解析方法,および,データ構造」
 特願2000-058931,出願日2000年03月03日,特開2001-249946,公開日2001年09月14日.

1. 発明者:野田 優,定方 正毅
 出願人:科学技術振興機構
 「固−気−固触媒反応による排ガスの酸化処理方法」
 特願1999-38180,出願日1999年02月17日,特開2000-237544,公開日2000年09月05日.


〒113-8656
東京都文京区本郷7-3-1
東京大学 大学院工学系研究科
化学システム工学専攻 山口・野田研究室